Hybrid Hexapod六轴平台采用ALIO六轴定位台Hexapod器件,采用与传统6自由度(6-DOF)定位台不同的方法,以极具竞争力的价格展示了*高的性能。
Hybrid Hexapod六轴平台结合了精密XY单片工作台、三脚架和连续旋转θ-Z轴,而不是6个独立支腿(和12个连接接头),以提供卓越的整体性能。这使得传统的六足运动学过时,在精度、路径性能、速度、刚度和*大的工作范围(几乎不受限制的XY行程)以及完全可编程的刀具中心点位置方面有了几个数量级的改进。
Hybrid Hexapod六轴平台具有小于100 nm的三维6轴点精度®可重复性,使其成为激光加工、光学检测、光子学、半导体、计量学和医疗设备领域以及所有
微加工项目中关键任务应用的关键技术。
传统的六足机器人无法达到亚微米精度,因为它们需要精确协调所有六个轴的运动,以完成运动轮廓,即使这一要求仅适用于简单的单轴运动。此外,尽管人们普遍认为,与串联堆叠的多轴系统相比,
Hexapod六轴平台表现出良*的刚度,但这实际上仅限于垂直“z”轴,而在“xy”平面上则存在弱点。
Hybrid Hexapod六轴平台Angulares
Angulares Hybrid Hexapod®的60度倾斜/倾斜行程是目前市场上任何6自由度(6-DOF)定位器所能提供的***大角度行程范围,并提供与ALIO的所有Hybrid Hexapod系统相同的无与伦比的定位性能。它非常适合于非球面和自由曲面光学计量、硅光电子封装和探测、激光微处理(非平面基板和锥度控制)、晶圆计量、相机模块对准和组装、传感器/图像稳定测试、光学元件和光纤对准等应用。
Hybrid Hexapod六轴平台Angulares具有精密交叉滚柱轴承导轨、所有轴上的光学增量或绝对编码器反馈、直线电机和/或伺服滚珠丝杠驱动器、无限可编程刀具中心点位置和坐标偏移,以及所有轴上的零齿隙。该设计使角度***大的M能够无限的XY行程,Z行程为62毫米,使用其他三脚架模型可以增加到208毫米,倾斜/倾斜行程为60度(+/-30度),连续360度θ-Z,XYZ双向重复性小于+/-0.6弧秒,速度高达100毫米/秒XY和Z,小于10纳米的线性和0.1弧秒的角度***小增量运动。