晶圆翘曲度厚度测试仪是专业为晶圆翘曲度测量和晶圆厚度测量设计的晶圆厚度翘曲度测量仪器,可测量晶圆翘曲度,晶圆Bow/warp,晶圆厚度,晶圆平整度,晶圆几何形状尺寸等物理量。
晶圆翘曲度厚度测试仪应用
晶圆来料检测
晶圆研发和质量控制
![$title]( "$title")
晶圆翘曲度厚度测试仪标准厚度型号
| 型号 |
晶圆 直径 |
传感器计数 |
可测厚度范围 |
精度 |
分辨率 |
测量指标 |
| MX 203-4-21 |
2", 3", 4" |
5, 13, 21 |
200 - 800µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 203-6-33 |
4", 5", 6" |
17, 25, 33 |
300 - 900µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 203-8-37 |
6", 8" |
21, 37 |
400 - 1000µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 204-8-37 |
6", 8" |
21, 37 |
400 - 900µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 2012 |
12" |
69 |
500 - 1000µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 2012-H |
12" |
69 |
500 - 900µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
![$title]( "$title")
晶圆翘曲度厚度测试仪背面研磨型
| 型号 |
晶圆直径 |
传感器计数 |
可测厚度范围 |
精度 |
分辨率 |
测量指标 |
| MX 203-6-33-B |
4", 5", 6" |
17, 25, 33 |
100 - 700µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 203-8-37-B |
6", 8" |
21, 37 |
200 - 700µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 203-58-37 |
5", 6", 8" |
13, 21, 37 |
200 - 800µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 203-8-49-B |
4", 5", 6", 8" |
17, 25, 33, 49 |
150 - 650µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 204-8-37-B |
6", 8" |
21, 37 |
200 - 700µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 204-6-13-V |
5", 6" |
5, 13 |
100 - 700µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 204-8-21-V |
6", 8" |
13, 21 |
100 - 700µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 2013 |
8", 12" |
21, 37 |
100 - 750µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
![$title]( "$title")
晶圆翘曲度厚度测试仪高阻抗率
| 型号 |
晶圆直径 |
传感器数 |
厚度范围 |
精度 |
分辨率 |
测量指标 |
| MX 203-4-37-Q |
2", 3", 4" |
21, 37 |
300 - 800µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV |
| MX 203-6-33-Q |
3", 4", 5", 6" |
9, 13, 21, 33 |
300 - 800µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV |
晶圆翘曲度厚度测试仪太阳能领域
| 型号 |
可容纳晶圆尺寸 |
传感器数 |
厚度范围 |
精度 |
分辨率 |
测量指标 |
| MX 203-6-41-q |
100x100, 125x125, 156x156 |
21, 33, 41 |
160 - 700µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 204-8-25-q |
125x125, 156x156 |
17, 25 |
150 - 600µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 204-8-49-q |
125x125, 156x156 |
25, 49 |
100 - 600µm |
1µm |
0.1µm |
厚度,TTV,BOW, Warp |
晶圆残余应力测量系统
