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干法刻蚀机
  • 干法刻蚀机_干法刻蚀系统ES373适合LSI集成电路失效分析-孚光精仪

干法刻蚀机

干法刻蚀机ES373是大规模集成电路设计的精细工艺干法刻蚀系统。该干法刻蚀机专门用于大规模集成电路(LSI)失效分析,具有在多层器件上进行高宽高比刻蚀的能力,具有*越的功能和易用性。
型号:
FPNIP-ES373
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您!

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干法刻蚀机ES373是大规模集成电路设计的精细工艺干法刻蚀系统。该干法刻蚀机专门用于大规模集成电路(LSI)失效分析,具有在多层器件上进行高宽高比刻蚀的能力,具有*越的功能和易用性。
干法刻蚀机特点
存储可变蚀刻条件的存储器功能。
食谱记忆函数步程序函数
节省蚀刻条件,易于维护
运行历史记录
帕尔贴装置对舞台温度的控制
工艺气体管道VCR接头
干式泵
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