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高速光致发光扫描成像仪
  • 高速光致发光扫描成像仪_光致发光mapping绘图系统为LED光致发光成像绘图设计-孚光精仪

高速光致发光扫描成像仪

高速光致发光扫描成像仪是为LED光致发光成像绘图设计的工艺级光致发光mapping绘图系统,具有较高的光致发光mapping绘图成像速度。高速光致发光扫描成像仪对应2英寸晶圆按2mm/步扫描,30秒即可完成扫描mapping成像。
型号:
FPDONG-MAPLE-express
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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高速光致发光扫描成像仪是为LED光致发光成像绘图设计的工艺级光致发光mapping绘图系统,具有较高的光致发光mapping绘图成像速度。
高速光致发光扫描成像仪对应2英寸晶圆按2mm/步扫描,30秒即可完成扫描mapping成像。用户可以选择多种光谱仪器控制功能,多个激光集成支持功能,光致发光的同时测量与分析,薄膜厚度测量,反射率测量,双PL峰偏析,接收器编辑,边缘剔除.最高用户控制步进分辨率0.1/0.5/1.0/2.0/4.0mm。
高速光致发光扫描成像仪采用安静的电动位移台,高灵敏度低噪音CCD探测器,自动监测激光功率,完成操作记录功能,还可以采用FFT滤波去除差错,为用户带来完美的操作体验。
高速光致发光扫描成像仪
高速光致发光扫描成像仪应用
LED制造质量检测
LD制造质量控制
Epi-晶圆自动PL光致发光扫描绘图成像Mapping
III-V材料光致发光分析
薄膜厚度测量
荧光测量分析
通用光致发光分析
高速光致发光扫描成像仪规格参数

光谱仪:200-1100nm,低噪音1024像素(可选2048像素)
               分辨率:3.5nm@100um狭缝 600gr/mm,1024像素
可选配光谱仪:900-1700nm, 2nm@10um狭缝150gr/mm
激光器:标配375nm,可选波长266nm,325nm,405nm,442nm,532nm,658nm,785nm,1064nm
可选配:薄膜厚度测量功能
高速伺服电动位移台:手动加载样品盘,XY二轴位移,步进分辨率0.5/1.0/1.5/2.0mm
支持晶圆尺寸:2’‘,4’‘,6’‘,可选配8’‘
扫描mapping速度:2''晶圆<30秒@2mm步进,5ms曝光。
软件分析参数:峰值波长,优势波长,峰值强度,FWHM,积分强度,可选配厚度和反射率测量功能
光致发光精度:<1nm +/-0.5nm
尺寸:760W x 450H x 560D
重量:<35kg
真空:50-60cm/Hg
电源要求:220V
洁净度要求:~10000级
工作温度:15~35摄氏度
湿度:<85%R.H非冷凝
高速光致发光扫描成像仪

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