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直驱线性平移台-170mm/30kg
  • 直驱线性平移台_高精度直接驱动平移台采用3相无铁线性无刷伺服电机技术-孚光精仪

直驱线性平移台-170mm/30kg

这款直驱线性平移台是高精度直接驱动平移台,采用光学编码器和3相无铁线性无刷伺服电机技术,为用户带来零反冲高精度平移运动,具有独特的平移精度高,重复精度高和摩擦低的特点。行程范围170mm,绝对精度<±1µm, 双向重复定位精度(RMS)±0.1µm,最大速度<2000mm/s,水平载重30kg。这款不适合Z轴竖直或垂直位移。
型号:
FPSTA-8MTL1301-170
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线 4006-118-227, 021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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这款直驱线性平移台是高精度直接驱动平移台,采用光学编码器和3相无铁线性无刷伺服电机技术,为用户带来零反冲高精度平移运动,具有独特的平移精度高,重复精度高和摩擦低的特点。
直驱线性平移台采用线性非接触式光学编码器作为反馈系统,使得位置控制高达亚纳米级分辨率。
直驱线性平移台采用自然老化铝合金确保了平移台高温稳定性和轻巧性,以及优良的长周期运动,导轨系统不会发生漂移。
直驱线性平移台可以用于洁净空间环境或真空度10^-3Torr的真空环境,也可根据用户要求提供高真空直驱平移台。
直驱线性平移台可以轻松地直接连接到光学平台上,可直接安装搭建成电动XY二维平移台,无需使用任何连接板,也可按要求提供垂直Z轴平移台。
直驱线性平移台还可以安装到花岗岩龙门架或高精度平台上实现高精度平移定位。
直驱线性平移台-170mm/30kg
直驱线性平移台特点
超低剖面超薄设计
分辨率高达1nm
直接驱动无返程系统
高分辨率非接触式光学编码器
高精度线性导向和运载系统
最大速度高达1200mm/s
超长使用寿命
方便集成到各种平台或光学机械系统中
直驱线性平移台规格
 行程范围 170mm
 编码器类型 光学编码器
 编码器型号 LEn1
 编码器分辨率 25nm~5um任意指定
 编码器接口  差分RS422
 放大系数 4-200任选
 编码器光栅周期, 20um
  参考标记 (Index) Yes
 绝对精度2)
  标定前 ±5µm
  标定后 ±1µm
 单向重复精度 N/A
 双项重复精度(peak-peak)2) ±0.15µm
 双项重复精度(RMS) 2) ±0.10µm
 Pitch 3) ±55 / ±11.34µrad/arcsec
 Yaw 3) ±55 / ±11.34µrad / arcsec
 Roll N/A
 最大速度 (负载4Kg) 4) <2000mm/s
 最大加速度 ((负载4kg) 5) <20000mm/s^2
 安全限位开关 (Safety) Optical (Optrons)
 安全限位开关极性 Pushed is closed
 限位开关电压 5…24
负载导向信息
类型 线性电机平移台
电机类型 LM3
电机设计类型 无铁BLDC Motors
最大Bus Voltage >300VDC
最大负载 (中心放置) 6)
  水平 30kg
 运动质量 7) 2.2kg
 导向系统 循环直线轨道和载物滑块单元
材料和外壳信息
 外部材料 铝合金
 外壳处理 黑色阳极氧化
 环境压力 标准大气压
工作温度 20±2°C
控制器
 推荐控制器 8) ACS Products Line or 8SMC5-USB series
  推荐驱动器  8) ACS Products Line or 8SMC5-USB series
 推荐电源 9) Request Standa support
 推荐通讯接口 12) EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP
 线缆长度 2m
 差分输出 10) On request
配件
 底板 不需要
 XY二维平移台系统搭建 直接搭建,不需要安装适配板
 Z轴竖直平移台搭建 可以
外形尺寸
 移动台尺寸 (W x L) 130 x 295mm
 外形尺寸 (W x L x H) 130 x 345 x 40mm
 公制或英制 公制 / 英制均可提供
 XY二维平移台正交性 11) 24/5 µrad/arcsec
 防护处理 13) 基础防护
 RoHS 满足
 重量 4.1kg

1)  默认为x4转PPR-脉冲数/每转,模拟SIN/COS编码器接口
2)绝对精度和双向重复定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer测量计算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 电子自相关仪器测试,电子自相关仪11D-ALI-COL分辨率1µrad. 环境误差1µrad.
4) 最大速度由编码器限制和驱动器CUT-OF频率以及导向系统限制.
5)最大加速度由驱动器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)决定.
6)负载能力由导向系统决定.
7) 运动质量是系统常数m0,通常是没有负载时的惯性。
8) 推荐的控制器和驱动器有助于发挥电动平移台的性能.
9) 推荐的电源是根据用户的占空比和负载来选择.
10) 差分输出接口,可提供主动或被动LCMv2接口.
11) 可组成正交性能更好的XY二维电动位移台系统.
12) 标量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通讯接口,矢量控制建议采用EtherCAT接口。
13) 平移台包括特殊封盖,可用于灰尘严重或湿度较大的环境。

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